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Entwicklung eines Herstellungsprozesses für niederohmige, vertikale Leistungs-MOS-Transistoren in Trenchtechnologie unter Verwendung von nur drei Lithographieschritten
Entwicklung eines Herstellungsprozesses für niederohmige, vertikale Leistungs-MOS-Transistoren in Trenchtechnologie unter Verwendung von nur drei Lithographieschritten
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Product details
- Number of Pages:
- 160
- Publisher:
- Mensch & Buch
- Languages:
- Published: German, Original: German
- ISBN10:
- 3898201260
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