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Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik

Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik Business & Technology

Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik

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Product details
Binding:
Paperback
Edition:
1
Number of Pages:
160
Publication Date:
2011-05-18
Publisher:
sierke VERLAG - Sierke WWS GmbH
Languages:
Published: German, Original: German
ISBN10:
3868443266
Weight:
220 g
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