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Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik
Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Edition:
- 1
- Number of Pages:
- 160
- Publication Date:
- 2011-05-18
- Publisher:
- sierke VERLAG - Sierke WWS GmbH
- Languages:
- Published: German, Original: German
- ISBN10:
- 3868443266
- Weight:
- 220 g
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