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Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Number of Pages:
- 272
- Release Date:
- 2010-08-13
- Publication Date:
- 2010-08-13
- Publisher:
- Editions universitaires europeennes
- Languages:
- Published: French, Original: French
- ISBN10:
- 6131527296
- Weight:
- 404 g
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