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Makro- und mikromechanische Untersuchungen zum Drahtsägen von Siliziumwafern (Berichte des Institus für Mechanik und Fluiddynamik der TU Bergakademie Freiberg)
Makro- und mikromechanische Untersuchungen zum Drahtsägen von Siliziumwafern (Berichte des Institus für Mechanik und Fluiddynamik der TU Bergakademie Freiberg)
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Edition:
- 1
- Languages:
- Published: German , Original: German
- Number of Pages:
- 154
- Publisher:
- Technische Universität Bergakademie Freiberg
- Publication Date:
- 2011-03-03
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