Mikrosystemtechnik

Name: Mikrosystemtechnik
Brand: Vieweg+Teubner Verlag
SKU: 9783835100039-G
Price: 27.59 EUR
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By Ulrich Hilleringmann

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Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Product details

Binding:

Paperback

Edition:

1

Number of Pages:

288

Release Date:

2006-04-25

Publication Date:

2006-04-25

Publisher:

Vieweg+Teubner Verlag

Languages:

Original: German

ISBN10:

3835100033

ISBN13:

9783835100039

GPSR Manufacturer Reference:

[email protected]

Weight:

376 g

Height:

148 cm

Width:

210 cm

Thickness:

16 cm

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