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Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989-1991, Abschlussbericht
Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989-1991, Abschlussbericht
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Product details
- Languages:
- Published: German , Original: German
- Number of Pages:
- 250
- Publisher:
- VDI
- Publication Date:
- 1993
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