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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
By Markus Glück
MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
By Markus Glück
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Edition:
- 1
- Number of Pages:
- 212
- Publication Date:
- 2005-07-28
- Publisher:
- Vieweg+Teubner Verlag
- Languages:
- Published: German, Original: German
- ISBN10:
- 3519005204
- GPSR Manufacturer Reference:
- [email protected]
- Weight:
- 374 g
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