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In-vacuo Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium
In-vacuo Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Languages:
- Published: German , Original: German
- Number of Pages:
- 172
- Publisher:
- TUDpress
- Publication Date:
- 2018-11-15
- Release Date:
- 2018-12-01
- Weight:
- 242 g
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