Placeholder text

Go to cart

Mikrosensorik

By Thomas Elbel

Mikrosensorik Media & Communication

Mikrosensorik

Only 1 item left in stock
Description
Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lösung der grundsätzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Meßgrößen- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit völlig neuen Anwendungsmöglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der meßtechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tätige Ingenieure können das Buch zur Einarbei­ tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verständnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper Form dargestellt. Für ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der für alle Mikrosensoren gemeinsamen techno­ logischen Grundlagen werden in den Kapiteln 3 bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be­ schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der Art der Meßgröße.
Product details
Binding:
Paperback
Edition:
1
Number of Pages:
188
Release Date:
1996-10-15
Publication Date:
1996-10-15
Publisher:
Vieweg+Teubner Verlag
Languages:
Original: German
ISBN10:
3528033770
ISBN13:
9783528033774
GPSR Manufacturer Reference:
[email protected]
Weight:
335 g
Height:
170 cm
Width:
244 cm
Thickness:
11 cm

Condition

Show more

Show less
Very good
Almost no signs of wear. Book pages have no markings, accessories are intact and all other media are in good condition.
Available immediately
€5,79

Incl. VAT, plus shipping costs

PayPal
Visa
Mastercard
American Express
Only 1 item left in stock

Verified second-hand article

Verified second-hand item

Free shipping from 19€

€5,79