Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen

Name: Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen
Brand: Pro Business
Availability: OutOfStock
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By Carsten Strobel

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Description

Diese Arbeit besch?ftigt sich mit der dynamischen Herstellung von amorphen (a-Si:H) und mikrokristallinen (?c-Si:H) Silizium-D?nnschichtsolarzellen mittels linearer H?chstfrequenz-Plasmaquellen. Die Eignung des neuartigen Herstellungsverfahrens zur Fertigung von hocheffizienten a-Si:H bzw. ?c-Si:H Solarzellen wurde demonstriert. Im dynamischen Fertigungsmodus mit Substratbewegung sind vielversprechende initiale Wirkungsgrade von ca. 10,3 % f?r a-Si:H- und 6,5 % f?r ?c-Si:H-Solarzellen erreicht worden. Die gro?fl?chige Uniformit?t der Abscheidung konnte nachgewiesen werden. Der Einfluss der Dynamik bei der Abscheidung der Siliziumschichten wurde sowohl experimentell als auch theoretisch f?r amorphes Silizium untersucht. Es konnte festgestellt werden, dass die Substratbewegung die Solarzelleneigenschaften bis zu Durchlaufgeschwindigkeiten von 500 mm/min nur geringf?gig beeinflusst. Ein theoretisches Modell tr?gt zum besseren Verst?ndnis der Mikroprozesse bei der dynamischen Solarzellenabscheidung bei.

Product details

Binding:: Paperback
Edition:: 1
Number of Pages:: 160
Release Date:: 2013-05-17
Publication Date:: 2013-05-17
Publisher:: Pro Business
Languages:: Original: German
ISBN10:: 3863869648
ISBN13:: 9783863869649
Weight:: 448 g
Height:: 210 cm
Width:: 297 cm
Thickness:: 12 cm

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