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Untersuchungen zur Verwendung UV-härtender Resistmaterialien für die Nanoimprint-Lithographie (Berichte aus der Elektrotechnik)
Untersuchungen zur Verwendung UV-härtender Resistmaterialien für die Nanoimprint-Lithographie (Berichte aus der Elektrotechnik)
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Product details
- Binding:
- Paperback
- Edition:
- 1
- Languages:
- Published: German , Original: German
- Number of Pages:
- 133
- Publisher:
- Shaker
- Weight:
- 200 g
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