Entwicklung einer automatischen Testumgebung für Ferninfrarot-Bauelemente

Name: Entwicklung einer automatischen Testumgebung für Ferninfrarot-Bauelemente
Brand: Fraunhofer Verlag
Availability: OutOfStock
Rating: 5 (1 reviews)

By Alexander Utz

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Description

Die Erweiterung von rein elektrischen Schaltungen hin zu mikro-elektro-mechanischen-Systemen (MEMS) bedeutet gleichzeitig stark steigende Anforderungen an deren Test. Die vorliegende Arbeit besch?ftigt sich mit der Konzeption, mathematischen Modellierung, Umsetzung sowie Charakterisierung und Optimierung eines umfassenden Testkonzepts f?r CMOS-basierte MEMS am Beispiel eines am Fraunhofer IMS entwickelten und gefertigten Fern-Infrarot Imagers auf Basis von Bolometern als Sensorelemente. Hierzu wird zun?chst eine Analyse des Prozessflusses zur deren Herstellung durchgef?hrt und M?glichkeiten zum Testen w?hrend der einzelnen Prozessschritten analysiert. Anschlie?end wird die Umsetzung eines umfassenden Testkonzepts beschrieben. Die entwickelte Testumgebung erlaubt den umfassenden, entwicklungs- und produktionsbegleitenden Test der IRFPAs zu jedem Zeitpunkt der Prozessierung. Neben der Konzeption und Umsetzung der konkreten Testumgebung wird ein mathematisches Modell vorgestellt, welches die Untersuchung abstrakter FIR Testumgebungen im Hinblick auf deren theoretisch erreichbare Messunsicherheit und Pr?zision erlaubt.

Product details

Binding:: Paperback
Number of Pages:: 183
Release Date:: 2012-07-25
Publication Date:: 2012-07-25
Publisher:: Fraunhofer Verlag
Languages:: Original: German
ISBN10:: 3839604192
ISBN13:: 9783839604199
Weight:: 243 g
Height:: 149 cm
Width:: 207 cm
Thickness:: 15 cm

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