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Silizium-Halbleitertechnologie

By Ulrich Hilleringmann

Silizium-Halbleitertechnologie

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Description
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.
Product details
Binding:
Paperback
Edition:
7
Number of Pages:
288
Release Date:
2019-01-18
Publication Date:
2019-01-18
Publisher:
Springer Fachmedien Wiesbaden
Languages:
Original: German
ISBN10:
3658234431
ISBN13:
9783658234430
GPSR Manufacturer Reference:
[email protected]
Weight:
554 g
Height:
168 cm
Width:
240 cm
Thickness:
15 cm
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