{"product_id":"hilleringmann-ulrich-mikrosystemtechnik-9783835100039","title":"Mikrosystemtechnik","description":"Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik\/Elektronik, Optik\/Elektronik und Optik\/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.","brand":"Vieweg+Teubner Verlag","offers":[{"title":"Used - good","offer_id":53497527337302,"sku":"9783835100039-G","price":27.59,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0925\/5829\/5382\/files\/product_image_9783835100039_1.jpg?v=1778117987","url":"https:\/\/www.momoxbooks.com\/products\/hilleringmann-ulrich-mikrosystemtechnik-9783835100039","provider":"momoxbooks","version":"1.0","type":"link"}