{"product_id":"gunter-schumicki-prozesstechnologie-9783540176701","title":"Prozeßtechnologie","description":"1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.","brand":"Springer","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":53918587289942,"sku":null,"price":0.0,"currency_code":"EUR","in_stock":false}],"url":"https:\/\/www.momoxbooks.com\/products\/gunter-schumicki-prozesstechnologie-9783540176701","provider":"momoxbooks","version":"1.0","type":"link"}