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Prozeßtechnologie

By Günter Schumicki

Prozeßtechnologie

By Günter Schumicki

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Description
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.
Product details
Binding:
Paperback
Edition:
1
Number of Pages:
520
Release Date:
2013-10-04
Publication Date:
1991-03-08
Publisher:
Springer
Languages:
Original: German
ISBN10:
3540176705
ISBN13:
9783540176701
GPSR Manufacturer Reference:
[email protected]
Weight:
887 g
Height:
170 cm
Width:
244 cm
Thickness:
28 cm
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